潔淨服（fú）漢（hàn）姆克滾筒試驗機（jī）

執行標準

IEST-RP-CC003.3

技術參數

控製係（xì）統：PLC;

操（cāo）作界麵（miàn）：彩色7寸觸摸屏，中英文切換；

國產（chǎn）粒子計數器：0.3um-0.5um，數量1套；

進口粒子計數器：美國進口，數量（liàng）1套

滾（gǔn）筒尺寸：外尺寸430mm*330mm，內筒尺寸330mm*330mm；

轉速：10rpm；

試驗步驟（zhòu）

A將球磨（mó）機放在潔淨工作台上便於操作的位置，潔淨室的潔（jié）淨度（dù）應（yīng）不低於ISO5級（jí）將滾筒安裝在球磨（mó）機上,潔（jié）淨室內氣流方向垂直於滾筒軸線;

B讓球磨機運轉。用（yòng）秒表檢查滾筒的轉速（sù），將轉速調（diào）至10(士0.1)rpm，在數據表上記錄轉速。

注:有必要（yào）多測幾圈以保證本試驗要（yào）求轉速測量精度;

C安裝空氣采樣管，從滾筒內抽取（qǔ）空氣。采樣管應平（píng）行於旋轉軸線，采樣管和旋轉的壟條之間有 2.5 cm(1 in.)的空檔，采樣口距（jù）滾筒前端5cm。采樣口處在（zài）滾筒順時針方向11點鍾的位置。目測檢查空氣采樣管入口和滾筒內部（bù）的粒子沉積情況。注:空（kōng）氣采（cǎi）樣管入口應光滑無毛（máo）刺，以避免磨損被（bèi）試服裝;

D在潔淨室內（nèi）靠近滾筒裝衣入口處，用粒（lì）子計（jì）數器測量>0.3um的粒子（zǐ）濃度，記為（wéi）“潔淨室濃度”。用40cm(15.7in.)長的柔性導電塑料管將采（cǎi）樣管連接到粒子計數器（qì）上。最好（hǎo）使用導電采樣管，不（bú）鏽鋼采樣管應接地。選擇合適（shì）的管件以避免驟縮或驟擴。妥善安放計數器以避免采（cǎi）樣管上出現急彎。

E按ASTMF50的規定設（shè）置並操作粒子計數器（qì）

F在旋轉的滾（gǔn）筒內采樣測量顆粒物濃度。該濃度應（yīng）不偏離潔淨室內所測背景濃度(按B2.5.5a測定的濃度)的10%。檢查背景（jǐng）濃度時，使用技術器的最小粒徑檔作為參（cān）照。注:若旋轉中的滾筒內粒子計數高出試驗所在潔淨室粒子濃度10%,則應（yīng）在滾筒靜（jìng）止時用過濾(最大孔徑（jìng） 0.45 um)後的帶空氣或帶壓力的氮氣吹掃滾筒（tǒng）內表麵，吹走可分離的顆粒物。汙染嚴重時，可使用（yòng）浸（jìn）有（yǒu）少許去離子水或（huò）含（hán）9%異丙醇去離子水溶進行衝洗，然（rán）後（hòu）幹燥.