潔（jié）淨服漢姆（mǔ）克滾筒試驗機

執（zhí）行標準

IEST-RP-CC003.3

技術（shù）參數

控（kòng）製係（xì）統：PLC;

操作界麵：彩色7寸觸摸屏（píng），中英文切（qiē）換；

國產粒子計數器：0.3um-0.5um，數量1套（tào）；

進口粒子計數器：美（měi）國進口，數（shù）量1套

滾筒（tǒng）尺寸：外尺寸430mm*330mm，內筒尺（chǐ）寸330mm*330mm；

轉速：10rpm；

試驗步驟（zhòu）

A將球磨機放在潔淨工（gōng）作台（tái）上便於操作的位置，潔淨室的潔淨度應不低於ISO5級將滾筒安裝在球磨機上,潔淨室內氣流方向（xiàng）垂直於滾筒軸（zhóu）線;

B讓球磨機運轉。用秒表檢查滾筒的轉速，將轉速調至10(士0.1)rpm，在數據（jù）表上記錄轉速。

注:有必（bì）要多測幾圈以保證本試驗要求轉速測量（liàng）精度;

C安（ān）裝空氣采樣管，從滾（gǔn）筒內抽取空氣。采樣（yàng）管應平行於旋轉軸線，采樣管和旋轉的壟條之間有 2.5 cm(1 in.)的空檔，采樣口距滾筒前端5cm。采樣口處在滾筒順時針方向11點鍾的（de）位置。目測檢查空氣采樣管入口和滾筒內部的粒子沉積情況。注:空氣采樣（yàng）管入口應光滑無毛刺，以避免磨損被試服裝;

D在潔淨室內靠近滾筒裝（zhuāng）衣入（rù）口處，用粒子計數器（qì）測量>0.3um的粒子濃度，記為“潔淨室濃度”。用（yòng）40cm(15.7in.)長的柔性（xìng）導電塑料管將采樣管連接（jiē）到粒子計數器上。使用導電采樣（yàng）管，不鏽鋼采樣管應接地。選擇合適的管件以避免驟縮或驟擴。妥善安放計數器以避免采樣管上（shàng）出現急彎。

E按ASTMF50的規（guī）定設置（zhì）並操（cāo）作粒子計（jì）數（shù）器

F在（zài）旋轉的滾筒內采樣測量（liàng）顆粒物濃度。該濃度應不偏（piān）離潔淨（jìng）室內測背景濃度(按B2.5.5a測定的濃度)的10%。檢查背景濃度時（shí），使用技術器的小粒徑檔作為參照。注:若旋轉中的滾筒內（nèi）粒子計數高出試驗在潔淨室粒子濃度（dù）10%,則應在滾（gǔn）筒靜止時用（yòng）過濾(孔徑 0.45 um)後的帶空氣或帶壓（yā）力的氮氣（qì）吹掃滾筒內表麵，吹走可分離的顆粒物。汙染嚴重時，可使（shǐ）用浸有少許去離子水或含9%異丙醇去（qù）離子水溶進（jìn）行（háng）衝洗，然後幹燥.