氣相沉積薄膜與（yǔ）基（jī）體附著力劃痕試驗儀

根據壓頭上（shàng）自動連續增加的垂直載荷，測定完全劃透薄（báo）膜（mó）並使之從其基（jī）體上連續剝離需要的小（xiǎo）載（zǎi）荷， 即薄膜–基體界麵（miàn）附著失效的臨界載荷 L C 。

測定 L C 的自動劃痕（hén）試（shì）驗機（jī）的結構原理如圖1示。 該（gāi）儀器由下列主要部件組成： A—壓頭連續加載電機； B—聲（shēng）發射探（tàn）頭（tóu）， 探測劃痕產生的聲（shēng）發射強度並輸入微（wēi）機； C—洛氏硬度計標準壓頭； D—試樣台（tái）； E—位移電機， 用以勻速沿水（shuǐ）平方向拖動試樣（yàng）台； F—切向摩擦力傳感器， 連續檢測壓頭與薄（báo）膜之間的摩擦力並輸入微機； G—試樣台高度升（shēng）降螺杆； H—加載壓力傳感器； I—光學顯（xiǎn）微（wēi）鏡(≥40×)； J—信號放大器； K—變換控製器； L—微型計算（suàn）機嵌入式工業電腦， 用以實施測試自（zì）控和自動處理數據， 並動態顯示及存貯數據與圖形； M—試樣； N—CRT 顯示器； O—繪（huì）圖打印（yìn）機， 輸出試驗結果； P—壓頭加載機構； Q—主支架。

執行標準：JB/T 8554-1997

技（jì）術參（cān）數

控製係統：PLC+Windows係統

操作界麵（miàn）：彩色（sè）觸摸屏15寸，嵌入式工（gōng）業電腦

樣品尺寸：長方體： 長 40～50mm， 寬 30～45mm， 高 6～20mm； 或圓柱體（tǐ） φ (40～45)mm×(6～20)mm；

樣（yàng）品要求：試樣在溫度(20± 5)℃和相（xiàng）對濕度(50±10)%RH的（de）條件下至少放置 8 h， 然後按規定步驟測試隻需很少的測試次數即可評價劃痕特（tè）性；

壓頭規格：按 GB/T 2848 規定的（de）條件選擇金剛（gāng）石壓頭（tóu）(頂角 120°， 頂端半徑 R 在（zài） 200 μ m± 5 μ m範圍內)， 在不小於 40 倍的顯微鏡下檢測壓頭（tóu）， 確認其頂（dǐng）端是光滑潔淨的球麵， 方可使用。

劃痕速度： (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設置；

加載速率： 對硬質薄（báo）膜為(20～40)N/min；對（duì）非（fēi）硬質薄膜為(5～10)N/min；極限壓力100N

精度： 0.03 N；

電機：伺服電機86型+驅動器

運動模式（shì）：絲（sī）杆（gǎn）+導軌，精（jīng）度0.001mm；

光學（xué）顯微鏡：50倍以上鏡片配置；

曲線圖：加載壓力，恒定壓力，摩擦力，垂直載荷關係圖，XY關係（xì）圖（tú）；

測試高度範圍：0-100mm；

測試模式：往複式運動，可單線運動，工業電腦觸摸屏上設（shè）置；

運動範圍：Y距離0-900mm，Y距離0-540mm

用電：220V,120W,20A,50hz；

外形尺寸約（yuē）：1000mm*600*640mm；