發布日期：2025-11-11 瀏覽次數：次
一、 儀器介紹（shào）
概述：
表麵潔淨度測試（shì）儀采接觸式，量（liàng）測物體表麵的（de）粒（lì）子數量的設備!半導體，麵板廠，設備商與所有清潔部件廠商，驗證（zhèng）部件表麵是否幹淨的檢驗標準工具，人的肉眼很難看清直徑在100微米以下的粒子，這些粒子會快速沉降，逃避常規的空氣檢測從而聚集（jí）在關鍵表麵或產品上，從而減（jiǎn）少產品的良率及降（jiàng）低產品的穩定性。
執行標準：
ISO14644-9:2022 《潔淨室和相（xiàng）關的受控環境第 9 部分:顆粒濃度表麵（miàn）清潔度的評估》
二、 儀（yí）器參數
技術參數：
控製係統：PLC
操作界（jiè）麵：7寸觸摸屏
流量:28.3L/min+5% 內置流量傳感器，流量（liàng）自動閉環控製（zhì）
光源: 進口激（jī）光二極管
測試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據客戶（hù）需求定（dìng）製，最多（duō）八個通道）
最大飽和濃度:2000000/ft3（5%）
自淨時間:≤10min
測量次數:0-99次周期:0-99999秒測量間（jiān）:0-9999秒時時間:0-9999秒
潔淨度等級:1~9級
采樣頭規格:φ36.5
數據單位:m3、ft3
SCP等（děng）級:1級-8級
表麵類型:圓形、方形
表麵探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
數（shù）據單位（wèi）:m2、ft2、in2、cm2、mm2
根據探頭的形狀（如:圓形（xíng）輸入直徑、方（fāng）形輸入長寬尺寸），自動計算出表麵積。
打印功能:熱敏打印機
數據儲存:可儲存100000組數據
重量:15kg
外形尺寸:300*400*450mm
電源：AC220V 50Hz 150W （可選帶鋰電池組）
基本配（pèi）置：
主機 一台
說明書 1份
合格證1份
簽收單（dān）1份
電源線1份
扳手1套
保修（xiū）卡（kǎ） 一個
銘牌 一個
一、 儀器介紹
概（gài）述：
表麵潔淨度測試儀采接（jiē）觸式，量測物體表麵的粒子數量的設（shè）備!半導體（tǐ），麵板（bǎn）廠，設備商與所有清潔部件（jiàn）廠商（shāng），驗證部件表（biǎo）麵是否幹淨的檢驗標準（zhǔn）工具，人的肉眼很難看清直徑在（zài）100微（wēi）米以下的粒子，這些粒子會快速（sù）沉降，逃避常（cháng）規的空氣檢測從而聚集在關鍵表麵或產品上，從而（ér）減少產品的良率及降低產品的穩定性。
執行標準：
ISO14644-9:2022 《潔淨室和相（xiàng）關（guān）的受控（kòng）環境第 9 部分:顆粒濃（nóng）度表麵清潔度的評估》
二（èr）、 儀器參數
技（jì）術參數（shù）：
控製係統：PLC
操作界麵：7寸觸摸屏（píng）
流量:28.3L/min+5% 內置流量傳感器（qì），流量自動閉環控（kòng）製
光源: 進口激光（guāng）二極管
測（cè）試粒徑:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um（可根據客（kè）戶需求定製，最（zuì）多八個通道）
最大飽和濃度:2000000/ft3（5%）
自淨時間:≤10min
測（cè）量次數:0-99次周期:0-99999秒測量（liàng）間:0-9999秒時時間:0-9999秒
潔（jié）淨（jìng）度等級:1~9級
采樣頭規格:φ36.5
數據單（dān）位:m3、ft3
SCP等級:1級-8級
表麵類型:圓形、方形（xíng）
表麵（miàn）探頭:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
數據單位:m2、ft2、in2、cm2、mm2
根據探頭的形狀（如:圓形輸入直徑、方形輸入長寬尺寸），自動計算出（chū）表麵積。
打印功能:熱敏打印機
數據儲存:可（kě）儲存（cún）100000組數據
重（chóng）量:15kg
外形尺（chǐ）寸:300*400*450mm
電源（yuán）：AC220V 50Hz 150W （可選帶鋰電池組（zǔ））
基本配置（zhì）：
主機 一台
說明書 1份
合格證1份
簽收單1份
電源線（xiàn）1份
扳手1套
保修卡 一個
銘牌 一個
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