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技術文章

加熱防腐型勻膠機

發(fā)布日期:2025-08-22  瀏覽次數:

加熱防腐型勻膠機

一、技術原理與核心參數

加(jiā)熱(rè)防腐型旋轉塗覆儀采用聚四氟乙烯腔體,外觀美觀堅固,具有優良的化學穩定性和(hé)極強的耐腐蝕性,能夠用於各種需要抗酸堿和有機溶劑(jì)的場(chǎng)合(hé)。儀器采用(yòng)先進的精密電(diàn)機,轉速能達到 12000 /分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋塗功能(néng),本品還配有加熱(rè)組件,可以加熱到(dào) 200℃,由智能溫控表控溫,溫度測定準確,升溫過程完全可控。另(lìng)外本儀器采用觸控屏控製,可以預設勻膠曲線,大大(dà)簡化了使用(yòng)過程降低了學習成(chéng)本,十分適(shì)合實驗室選購(gòu)。

 

、關鍵性能參數

項目

參數要(yào)求

控製係統

PLC控製係統

操作界麵(miàn)

彩色7寸(cùn)觸摸屏,中英文切換

速(sù)度範圍

0~ 12000rpm,精度±1

加速度

100~8000rpm/s(空載(zǎi))

腔體材質

聚四氟乙烯

加熱溫度

室溫+200℃‌

傳動機構

精密電機+驅動器和高精度步進電機,傳動穩、噪音小;

控溫方式

AIP 智能控溫

滴膠方式

精密(mì)注射泵(0.01~5ml ,精度士 1% ,防回流設計)

勻膠曲線

每條曲線 1000 段(duàn),共可儲存(cún) 30 條曲線

數據

支持(chí) USB 導出數據(jù)

抽氣接口

φ6mm 快擰(nǐng)接口

無(wú)油真空泵

50L/min

勻(yún)膠吸盤

Ø10mm,Ø25mm,Ø55mm,Ø100mm聚四氟材質

打印機

嵌入式微型打印機

電壓電流

AC220V50Hz

外形尺寸

310mm×365mm×350mm

重量

15kg

 

三,應用領域

光電子學領(lǐng)域:用於製備太陽(yáng)能電池、有機發光二極管(OLED)、有機太陽能電池(OPV)等器件(jiàn)的(de)薄膜(mó)塗層

半導體與微電子製造:適用於光刻膠旋塗、晶圓表麵塗(tú)布等工藝,支持(chí)最大12英寸晶圓處理

材料科學:可製備金屬、半導體、氧化物(wù)及聚合物等材料的(de)均勻薄膜,尤其適合需要抗酸堿和有(yǒu)機溶劑的實驗(yàn)環境

生物醫學(xué)領域:用於生物傳感(gǎn)器、生物芯片的塗層製備(bèi),聚四(sì)氟乙烯腔(qiāng)體設計(jì)確保化學穩定性與耐腐蝕性

納米科技(jì):支持納(nà)米(mǐ)材料(liào)與納米薄膜的製備,高(gāo)精度控溫(室溫-200℃)和轉速調節(jiē)(10-12000/分(fèn)鍾)保障工藝穩定性

 

 

四、基礎操作流程

 

A安裝與準備

連接設備

連接真空泵氣管與電源線,確保螺帽擰緊

插入(rù)設備電源線並打開總開關

安裝吸(xī)盤與片托(tuō)

根據樣品尺寸選擇吸(xī)盤,對(duì)準槽口安裝並固定螺絲

將(jiāng)片托(tuō)凹槽對準電機軸頂絲垂直放置

B參數設置

選擇勻膠(jiāo)方案

進入操作界麵,選擇預設方案(如5段式參數)或自定義參數(shù)

設置轉速、時間與加速度

示例:第一段速度2000/分鍾,時間20秒(miǎo),加速度2000‌1

分段設置(如(rú)第(dì)二段3500轉(zhuǎn)/分鍾,第三段10000/分(fèn)鍾)

溫度(dù)控製(如需加熱)

設置溫度範圍(0-200℃),支持手動或自動加熱模式

C旋塗操作

放置樣品

將基片居中放置於片托,啟動真空泵吸附固定

啟動勻膠

轉速穩定後(hòu)注入膠液,程序自動分段執行

完成(chéng)與清潔

等待轉速歸零,關閉真空泵並取出樣品

定期清(qīng)潔(jié)抽氣孔(滴酒精(jīng)維(wéi)護)

D注意事項

防腐設計:聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕,避免接觸強氧化劑

安全防(fáng)護:加熱模塊高溫,操作時勿觸碰

 

五、合規性要(yào)求(核心標準)

 

六、儀(yí)器特點

 

‌1. 防腐設計

腔體材質采用聚四氟乙烯(PTFE聚丙烯(PP,抗強酸、強堿及有機溶劑腐蝕

部分機型配備防濺廢料罐排液管,防止腐蝕性液體(tǐ)汙染環境

‌2. 加(jiā)熱與溫控功能(néng)

加熱範(fàn)圍覆蓋室溫至200℃‌,控溫精度±1-2℃,適用於高溫工藝(如光刻(kè)膠烘烤)

支持分段控溫,部分機型集成抽廢氣功能,確保工藝穩定性

‌3. 高精度勻膠性能

轉速範圍‌10-20000/分鍾,電機采用無刷伺服或德國進口電機,保障薄膜均勻性(厚度誤差±1%

部分機型支持正反轉旋塗分段編程,優化(huà)複(fù)雜工藝需求

‌4. 智能化操作

配備觸摸屏控(kòng)製、藍牙(yá)通(tōng)信及PC端遠程控製軟件,支(zhī)持配方(fāng)存儲與掉電保護

實時顯示轉(zhuǎn)速曲線、吸附力(lì)及報(bào)警功能(如進膠保護、吸附不足互鎖)

‌5. 安全與兼容性

透明耐腐蝕蓋板(bǎn)(丙烯酸材質)隔絕有毒氣體,部分機型(xíng)適配手套箱使用

適配半導(dǎo)體、光電子等(děng)領域

 

 

七,配置清單(dān)

主機1台;

測試軟件1套;

說明書1;

合格證1;

保修卡1;

簽收單1;

銘牌1;

電源線1;

扳手1;

宣傳冊若(ruò)幹;

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加熱防(fáng)腐型勻膠(jiāo)機

發布日期:2025-08-22 瀏覽次數:

加熱防腐型勻膠機

一、技術原理與核心參數(shù)

加熱防腐型旋轉塗(tú)覆儀采用聚四氟乙烯腔體,外觀美觀堅固,具有優良的化學(xué)穩定(dìng)性和極強的(de)耐腐蝕性,能夠用於各種(zhǒng)需要抗酸堿和有機溶劑的場合(hé)。儀器采用先進的(de)精密電機,轉速能達到(dào) 12000 /分,有效的保障了成膜的均勻性。除(chú)了基(jī)本的旋塗功能,本品還配(pèi)有加熱組件,可以加熱到(dào) 200℃,由智能(néng)溫控表控溫,溫度測定準確,升溫過程完全可控(kòng)。另外本儀器采用觸控屏控製,可以預設勻膠曲線,大大簡化了使(shǐ)用過程降(jiàng)低了學習(xí)成本,十(shí)分適合實(shí)驗室選購。

 

、關鍵性能參數

項目

參數要求

控製係統

PLC控製係統

操作界麵

彩色7寸(cùn)觸摸屏,中(zhōng)英文切換

速度範圍

0~ 12000rpm,精度±1

加速度

100~8000rpm/s(空載)

腔體材質

聚四氟乙烯

加熱溫度

室溫(wēn)+200℃‌

傳動機(jī)構

精密(mì)電機+驅動器和高精度步進電機,傳動穩、噪音小;

控溫方式

AIP 智能控溫

滴膠方式(shì)

精密注射泵(0.01~5ml ,精度士 1% ,防回(huí)流設計)

勻膠曲線

每條曲線 1000 段,共可(kě)儲存 30 條曲線

數據

支持 USB 導出數據

抽氣接口

φ6mm 快(kuài)擰接口

無油(yóu)真空泵

50L/min

勻膠吸盤

Ø10mm,Ø25mm,Ø55mm,Ø100mm聚四氟(fú)材質

打印機

嵌入式微型打印機(jī)

電壓電流

AC220V50Hz

外形尺(chǐ)寸

310mm×365mm×350mm

重量

15kg

 

三,應用領域

光電子學領域:用於製備太陽能電池、有機發光二極管(OLED)、有機太陽(yáng)能電池(OPV)等器件的薄膜塗層

半導體與微電子製造:適用於光刻膠旋塗、晶圓表麵塗布等工藝,支持最大12英寸晶圓處理

材料科學:可製備金屬、半導(dǎo)體、氧化物及聚(jù)合物等材料的均勻薄膜,尤其適合需要抗酸堿和有機溶(róng)劑的實驗環境(jìng)

生物醫學領域:用於生物傳感器、生物芯(xīn)片的塗層製備,聚四(sì)氟乙烯(xī)腔體設計確保化學穩定性與耐腐蝕性

納米科技:支(zhī)持納米(mǐ)材料(liào)與納米(mǐ)薄膜的製備,高精度控溫(室溫-200℃)和轉速調(diào)節(10-12000/分鍾)保障工藝穩定性

 

 

四、基礎操作流(liú)程(chéng)

 

A安裝與準備

連接設備

連接真空泵氣管與(yǔ)電源(yuán)線,確保螺帽擰緊

插入設備電源線並(bìng)打開(kāi)總開關

安(ān)裝吸盤與片托(tuō)

根據樣品尺(chǐ)寸(cùn)選擇吸盤,對準槽口安裝(zhuāng)並固定螺絲

將片(piàn)托凹槽對準電機軸頂絲垂直放置

B參數設置

選擇勻膠方案

進入操作界麵,選(xuǎn)擇預設方案(如5段式參數)或自定(dìng)義參數

設置轉速、時間與加速度

示例:第一段速(sù)度2000/分鍾(zhōng),時(shí)間20秒,加速度2000‌1

分段設置(如第二段(duàn)3500/分鍾,第三段(duàn)10000/分鍾)

溫度控製(如需加熱)

設置溫度範圍(0-200℃),支(zhī)持手動(dòng)或自動加(jiā)熱模式

C旋塗操作

放置樣品

將基片居(jū)中放置於片托,啟動真(zhēn)空泵吸附固定(dìng)

啟動勻膠

轉速穩定後注入膠液,程序自動分段執行(háng)

完成與清潔

等待轉速(sù)歸零,關閉真(zhēn)空泵並取出樣品

定期清潔抽氣(qì)孔(滴酒精維護)

D注意(yì)事項

防腐(fǔ)設計:聚四氟乙烯(xī)腔體可(kě)耐酸堿腐蝕,避免接(jiē)觸強(qiáng)氧化劑

安全防護:加熱模塊高溫,操作時勿觸(chù)碰

 

五、合規性要求(核心標準)

 

六、儀器特點

 

‌1. 防腐設計

腔體材質采(cǎi)用聚(jù)四氟乙烯(PTFE聚丙烯(PP,抗強酸、強堿及有機溶劑腐蝕

部分機(jī)型配備防濺廢料罐排液管,防止腐蝕性(xìng)液體汙染(rǎn)環境

‌2. 加熱與溫控功能

加(jiā)熱範圍覆蓋(gài)室溫(wēn)至200℃‌,控(kòng)溫精度±1-2℃,適用於高溫工藝(如(rú)光(guāng)刻膠烘烤)

支持分段控溫,部分機(jī)型集成抽廢氣功能,確保工藝(yì)穩定性

‌3. 高精度(dù)勻膠性能

轉速範圍‌10-20000/分鍾,電機(jī)采用無刷伺服或德(dé)國進(jìn)口電機,保障薄膜均勻性(厚度誤差±1%

部分機型支(zhī)持正反轉(zhuǎn)旋塗分段編程,優化複雜工藝需求

‌4. 智能化操作

配備觸摸屏控製、藍牙通信及(jí)PC端(duān)遠(yuǎn)程(chéng)控製軟件,支持配方(fāng)存儲與掉(diào)電保護

實時顯示轉速曲線、吸附(fù)力(lì)及報警功能(néng)(如進膠保護、吸附(fù)不足互鎖)

‌5. 安全與兼容性

透明耐腐蝕蓋板(bǎn)(丙烯酸材質)隔絕有毒氣體,部分機型適配手套箱使用

適配(pèi)半導體、光電子等領域

 

 

七,配置清單

主機(jī)1台;

測試軟件1套;

說明書1;

合格證1;

保修卡1;

簽收單1;

銘牌1;

電源線1;

扳手1;

宣傳冊若幹;

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